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台积电:成功开发出大面积晶圆尺寸的单晶氮化硼成长技术

图片来源:互联网
作者:李连忠 张文豪 陈则安

由台湾积体电路制造股份有限公司(台积电)与新竹交通大学合作组成的研究团队17日在台北宣布,在共同进行单原子层氮化硼的合成技术上取得重大突破,成功开发出大面积晶圆尺寸的单晶氮化硼成长技术。该成果将于今年3月在国际知名学术期刊《自然》发表。

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